隨著我國工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，其中半導(dǎo)體行業(yè)需求也加大，但隨之而來也帶有VOC廢氣對(duì)大氣污染。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)生產(chǎn)車間清潔度要求高，因此廢氣排放風(fēng)量較大、排放濃度小的。主要來源于芯片或者是線路板出產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中以及對(duì)電路板進(jìn)行清洗。主要成分有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。在整個(gè)工藝加工的過程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs，下面昆山鑫藍(lán)環(huán)保小編簡單介紹半導(dǎo)體廢氣處理解決方案。

半導(dǎo)體廢氣處理解決方案：

(1）預(yù)處理階段：一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。

(2）主要處理階段：在此階段，比較常見而有效方法有：UV光催化，焚燒和催化燃燒等。

這幾種單一方式各有優(yōu)劣，根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況，在這里我們主要推薦活性炭吸附+催化燃燒組合工藝去除VOCs氣體的方案。

1、活性炭吸附

有機(jī)廢氣由風(fēng)機(jī)提供動(dòng)力，正壓或負(fù)壓進(jìn)入活性炭吸附箱，由于活性炭固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力，因此當(dāng)此固體表面與氣體接觸時(shí)，就能吸引氣體分子，使其濃聚并保持在固體表面，污染物質(zhì)從而被吸附，活性炭吸附到一定時(shí)間后，即可進(jìn)入脫附流程，脫附后的氣體即是濃縮后的vocs氣體

2、催化燃燒設(shè)備

本凈化裝置是根據(jù)催化燃燒的基本原理設(shè)計(jì)的，催化凈化裝置內(nèi)設(shè)加熱室、換熱室，啟動(dòng)加熱裝置，進(jìn)入內(nèi)部循環(huán)，當(dāng)熱氣源達(dá)到有機(jī)物的沸點(diǎn)時(shí)，有機(jī)物進(jìn)入催化室進(jìn)行催化分解成CO2和H2O，同時(shí)釋放出能量。利用釋放出的能量進(jìn)入吸附床脫附時(shí)，此時(shí)加熱裝置完全停止工作，有機(jī)廢氣在催化燃燒室內(nèi)維持自燃，尾氣再生，循環(huán)進(jìn)行。余熱經(jīng)過換熱器進(jìn)行回收，便于下次加熱進(jìn)氣及余熱回收，能量回收效率高，能耗小，有機(jī)物得到催化處理。

鑫藍(lán)環(huán)?？萍迹ɡド剑┯邢薰?，專注于大型工廠廢氣處理、粉塵處理，公司主營產(chǎn)品有：RTO焚燒設(shè)備、催化燃燒設(shè)備、活性炭吸附箱、防爆除塵器、布袋除塵器、濾筒除塵器、酸堿洗滌塔、靜電除油設(shè)備等，公司獲得多項(xiàng)實(shí)用新型證書。本公司生產(chǎn)設(shè)備和實(shí)施項(xiàng)目具有：節(jié)能環(huán)保、運(yùn)行穩(wěn)定、使用時(shí)間長、排放達(dá)標(biāo)、項(xiàng)目投入少、處理效果好、設(shè)備噪聲低、處理量大、耐摩擦、維修便捷等特點(diǎn)。

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